■製品名：自動レーザービーム安定化装置

MRC Systems社の自動レーザービーム安定化装置は、①ビーム位置検出光ディテクタ、②ピエゾ駆動ミラー、③閉ループコントローラーの３つの機器を使ってレーザービームの方向とターゲット位置を常に一定に保つ装置です。ターゲット位置からのずれをビーム位置光検出器で検出し、ずれを補正するように閉ループコントローラーでピエゾ駆動ミラーをリアルタイム制御しますので、レーザに熱ドリフト、振動、機械的衝撃などがあっても常に正確にビーム位置と方向を一定にすることができます。様々なレーザーシステムのビーム経路に挿入して簡単にご使用いただけます。

■ 特徴

・アクティブ閉ループ制御
・低位相シフトで高度な制御特性のアナログシステム
・滑らかで高分解能
・パソコン不要、人的操作不要
・CWレーザ、パルスレーザ何れも使用可能
・ピコ秒、フェムト秒レーザにも使用可能
・OEMバージョンも用意
・優れたコストパフォーマンス

■装置の原理

図1.のように、２組のビーム位置検出光ディテクタとピエゾ駆動ミラーをセットします。ビーム位置検出光ディテクタはピエゾ駆動ミラーや反射ミラーを透過するほんの僅かな光でビーム位置を正確に検出します。検出したビーム位置のずれは閉ループコントローラ（図には描いてありません）でリアルタイムに補正されます。２点で正確な位置決めをリアルタイムで行いますので図2.のようにレーザにドリフト、振動、機械的衝撃等があっても位置、方向が常に安定したレーザビームを得ることができます。

図１．ビーム安定化の原理

図２.安定化装置の使用効果

▶装置の使用例

■ ご利用いただけるビーム位置検出光ディテクタ、ピエゾ駆動ミラーの種類と関連部品

ビーム位置検出光ディテクタ
	可視光4QDディテクタ・Si ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 320 – 1,100 nm ・アクティブセンサエリア： 10 x 10 mm²・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	可視光PSDディテクタ・位置センシティブデバイスセンサー(PSD)付システムディテクタ・波長： 400 – 1,100 nm or 200 – 1,000 nm ・連続センサーエリア・レーザターゲットポジションの電気的シフト可能・ビーム径に依存しない位置測定
	広範囲光強度4QDディテクタ・大きなダイナミックレンジ（factor>1000）、変動するレーザ強度でも確かな検出・対数信号増幅・全強度範囲にわたり一定のS/N比・波長範囲、側面分解能、帯域幅は4DQディテクタをご覧ください
	UVレーザ用ディテクタ：UV 4QD ディテクタ 3×3 ・Si ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 190 – 1,100 nm ・アクティブセンサエリア： 3 x 3 mm² ・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	IR & MIRレーザ用ディテクタ：IR 4QD ディテクタ（InGaAs）・InGaAs ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 900 – 1,700 nm ・アクティブセンサエリア： 3 x 3 mm² ・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	IR & MIRレーザ用ディテクタ：IR 4QD ディテクタ（Ge）・Ge ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 800 – 1,800 nm ・アクティブセンサエリア： 5 x 5 mm² ・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	サーモパイル 4QDディテクタ・サーモパイル４-四分円センサー付システムディテクタ・波長範囲： 190nm – 15μm ・CO2レーザや量子カスケードレーザ用・アクティブセンサエリア： 18 x 18 mm²
ピエゾ駆動ミラー
	PKSピエゾミラーマウント・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動・共鳴周波数 > 700 Hz ・傾斜範囲： 1 mrad メカニカル、2 mrad オプティカル・0.5インチ、１インチミラーサイズ・ミラー後背部にディテクターをセットできます
	PSHピエゾミラーマウント・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動・共鳴周波数 > 840 Hz ・傾斜範囲： 2 mrad メカニカル、4 mrad オプティカル・1インチ、1.5インチ、2インチミラーサイズ・ミラー後背部にディテクターをセットできます
	P4S30ピエゾミラーマウント・大口径ミラー向け・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動・共鳴周波数 < 1,200 Hz ・傾斜範囲： 4 mrad メカニカル、8 mrad オプティカル・1インチ、1.5インチ、2インチ、3インチミラーサイズ
	大口径ミラー用ミラーマウント・大きなサイズのミラー用・写真は4インチミラー用です
	真空用ディテクタ＆ミラーマウント本製品は真空中でのビーム安定に用いるディテクタとミラーマウントです。 10^-11mbarまでの真空中で使用できます。
関連部品
	レーザシャッター：Beamblock Beamblockはビーム安定化システムで使用する目的で設計されていますが、他のシステムで使用することも可能です。シャッターとコントローラユニットで構成され、external, confirm, manualの３モードで操作できます。また、カスタマイズ製品の作製も承っています。カスタマイズ例

ビーム位置検出光ディテクタ
	可視光4QDディテクタ・Si ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 320 – 1,100 nm ・アクティブセンサエリア： 10 x 10 mm²・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	可視光PSDディテクタ・位置センシティブデバイスセンサー(PSD)付システムディテクタ・波長： 400 – 1,100 nm or 200 – 1,000 nm ・連続センサーエリア・レーザターゲットポジションの電気的シフト可能・ビーム径に依存しない位置測定
	広範囲光強度4QDディテクタ・大きなダイナミックレンジ（factor>1000）、変動するレーザ強度でも確かな検出・対数信号増幅・全強度範囲にわたり一定のS/N比・波長範囲、側面分解能、帯域幅は4DQディテクタをご覧ください
	UVレーザ用ディテクタ：UV 4QD ディテクタ 3×3 ・Si ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 190 – 1,100 nm ・アクティブセンサエリア： 3 x 3 mm² ・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	IR & MIRレーザ用ディテクタ：IR 4QD ディテクタ（InGaAs）・InGaAs ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 900 – 1,700 nm ・アクティブセンサエリア： 3 x 3 mm² ・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	IR & MIRレーザ用ディテクタ：IR 4QD ディテクタ（Ge）・Ge ４-四分円ダイオード付システムディテクタ・波長範囲： 800 – 1,800 nm ・アクティブセンサエリア： 5 x 5 mm² ・側面分解能： <100 nm 可能・帯域幅： Max. 100 kHz
	サーモパイル 4QDディテクタ・サーモパイル４-四分円センサー付システムディテクタ・波長範囲： 190nm – 15μm ・CO2レーザや量子カスケードレーザ用・アクティブセンサエリア： 18 x 18 mm²
ピエゾ駆動ミラー
	PKSピエゾミラーマウント・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動・共鳴周波数 > 700 Hz ・傾斜範囲： 1 mrad メカニカル、2 mrad オプティカル・0.5インチ、１インチミラーサイズ・ミラー後背部にディテクターをセットできます
	PSHピエゾミラーマウント・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動・共鳴周波数 > 840 Hz ・傾斜範囲： 2 mrad メカニカル、4 mrad オプティカル・1インチ、1.5インチ、2インチミラーサイズ・ミラー後背部にディテクターをセットできます
	P4S30ピエゾミラーマウント・大口径ミラー向け・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動・共鳴周波数 < 1,200 Hz ・傾斜範囲： 4 mrad メカニカル、8 mrad オプティカル・1インチ、1.5インチ、2インチ、3インチミラーサイズ
	大口径ミラー用ミラーマウント・大きなサイズのミラー用・写真は4インチミラー用です
	真空用ディテクタ＆ミラーマウント本製品は真空中でのビーム安定に用いるディテクタとミラーマウントです。 10^-11mbarまでの真空中で使用できます。
関連部品
	レーザシャッター：Beamblock Beamblockはビーム安定化システムで使用する目的で設計されていますが、他のシステムで使用することも可能です。シャッターとコントローラユニットで構成され、external, confirm, manualの３モードで操作できます。また、カスタマイズ製品の作製も承っています。カスタマイズ例

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MRC Systems GmbH

■ ご利用いただけるビーム位置検出光ディテクタ、ピエゾ駆動ミラーの種類と関連部品