MRC Systems社の自動レーザービーム安定化装置は、①ビーム位置検出光ディテクタ、②ピエゾ駆動ミラー、③閉ループコントローラーの3つの機器を使ってレーザービームの方向とターゲット位置を常に一定に保つ装置です。ターゲット位置からのずれをビーム位置光検出器で検出し、ずれを補正するように閉ループコントローラーでピエゾ駆動ミラーをリアルタイム制御しますので、レーザに熱ドリフト、振動、機械的衝撃などがあっても常に正確にビーム位置と方向を一定にすることができます。様々なレーザーシステムのビーム経路に挿入して簡単にご使用いただけます。
■ 特徴・アクティブ閉ループ制御 |
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■装置の原理図1.のように、2組のビーム位置検出光ディテクタとピエゾ駆動ミラーをセットします。ビーム位置検出光ディテクタはピエゾ駆動ミラーや反射ミラーを透過するほんの僅かな光でビーム位置を正確に検出します。検出したビーム位置のずれは閉ループコントローラ(図には描いてありません)でリアルタイムに補正されます。2点で正確な位置決めをリアルタイムで行いますので図2.のようにレーザにドリフト、振動、機械的衝撃等があっても位置、方向が常に安定したレーザビームを得ることができます。
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■ ご利用いただけるビーム位置検出光ディテクタ、ピエゾ駆動ミラーの種類と関連部品
ビーム位置検出光ディテクタ | |
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可視光4QDディテクタ
・Si 4-四分円ダイオード付システムディテクタ |
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可視光PSDディテクタ
・位置センシティブデバイスセンサー(PSD)付システムディテクタ |
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広範囲光強度4QDディテクタ
・大きなダイナミックレンジ(factor>1000)、変動するレーザ強度でも確かな検出 |
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UVレーザ用ディテクタ:UV 4QD ディテクタ 3×3
・Si 4-四分円ダイオード付システムディテクタ |
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IR & MIRレーザ用ディテクタ:IR 4QD ディテクタ(InGaAs)
・InGaAs 4-四分円ダイオード付システムディテクタ |
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IR & MIRレーザ用ディテクタ:IR 4QD ディテクタ(Ge)
・Ge 4-四分円ダイオード付システムディテクタ |
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サーモパイル 4QDディテクタ
・サーモパイル 4-四分円センサー付システムディテクタ |
ピエゾ駆動ミラー | |
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PKSピエゾミラーマウント
・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動 |
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PSHピエゾミラーマウント
・高精度ポジショニング & 高速ピエゾ駆動 |
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P4S30ピエゾミラーマウント
・大口径ミラー向け |
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大口径ミラー用ミラーマウント
・大きなサイズのミラー用 |
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真空用ディテクタ&ミラーマウント
本製品は真空中でのビーム安定に用いるディテクタとミラーマウントです。 |
関連部品 | |
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レーザシャッター:Beamblock
Beamblockはビーム安定化システムで使用する目的で設計されていますが、他のシステムで使用することも可能です。シャッターとコントローラユニットで構成され、external, confirm, manualの3モードで操作できます。 |