■製品名：300-900nm LiNbO3単結晶薄膜(LNOI)

NANOLN社は、単結晶ニオブ酸リチウム薄膜および単結晶タンタル酸リチウム薄膜の専門メーカです。300-900nm LN薄膜(LNOI)は、電気光学変調器、遅延線、電気光学Q スイッチ、XBAR®、位相変調デバイス、非線形光学、強誘電体メモリデバイスなど多くの用途に利用できます。

■ 用途 ・ 電気光学変調器 ・ 遅延線 ・ 電気光学Q スイッチ ・ XBAR® ・ 位相変調デバイス ・ 非線形光学 ・ 強誘電体メモリデバイス

■  仕様

トップ機能層	直径	3, 4, (6) インチ	方位	X, Z, Y 他
	材料	LiNbO3	厚さ	300-900 nm
	ドーピング(オプション)	MgO
分離層	材料	SiO2	厚さ	1000-4000 nm
基板	材料	Si, LN, 水晶, 溶融石英 他
	厚さ	400-500 μm

オプションの電極層	材料	Pt, Au, Cr	厚さ	100-400 nm
	構造	SiO2分離層の上または下

メーカ

NANOLN