NANOLN社は、単結晶ニオブ酸リチウム薄膜および単結晶タンタル酸リチウム薄膜の専門メーカです。当社の300-900nm LT薄膜 (LTOI)は、共振器や高性能表面弾性波フィルタなどに利用できます。

■ 用途

・共振器
・高性能表面弾性波フィルタ

■ 仕様

トップ機能層 直径 3, 4, 6 インチ 方位 Y-42, Y-46.3, Z 他
材料 LiTaO3 厚さ 300-900 nm
分離層 材料 SiO2 厚さ 300-4000 nm
基板 材料 Si
厚さ 400-500 μm
メーカ NANOLN