■特徴・最高グレードのクリーンルームで製造 ■用途・薄膜ソーラーセルのP1レイヤー加工 |
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DPSSレーザとは| パラメータ | 単位 | Pulse-1064-10 | Super Pulse-1064-20 | Super Pulse-1064-30 |
| 波長 | nm | 1064 |
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| 繰り返し周波数 | kHz | 10-150（Options:single shot to 200 kHz） | ||
| パルス幅 ＠30 kHz | ns | <18 | ||
| 平均パワー @30 kHz | W | > 8 | > 15 | > 24 |
| 平均パワー安定性 | % | < ±3 over 24hours |
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| Pulse-to-Pulse 不安定性 | %rms | <3 | ||
| 出力ビーム | – | TEM00 (M2 <1.2) |
TEM00 (M2 <1.5) | |
| ビーム広がり角 | mrad | < 2 |
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| 1/e2ビーム径 | mm | 0.7 |
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| ビーム真円度 | % | > 90 |
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| ポインティング安定性 | µrad | < 50 |
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| 偏光方向 | – | 水平 |
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| 偏光比 | – | 100 : 1 |
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| 動作電圧 | VAC | 90-260 | ||
| 冷却方式 | – | 空冷/水冷 | ||
| メーカ | INNGU LASER |
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■加工例
