NanoScanTMナノスキャンは、スリットスキャン式のレーザビームプロファイラです。NanoScanシステムはスリットスキャン式の優位性としてサブミクロンの測定精度、シリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックディテクタを採用しており広波長範囲に対応しています。ソフトウェアは数多くのISO規格に準拠した測定に対応、M2 Wizard機能搭載、レーザ出力測定も可能です。
| NanoScan 2s Si/3.5/1.8 | NanoScan 2s Si/9/5 | NanoScan 2s Si/9/25 | NanoScan 2s Ge/3.5/1.8 |
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| 波長:190-950nm ビームサイズ:7μm – 2.3mm 光源:CW,パルス >25kHz |
波長:190-950nm ビームサイズ:20μm – 6mm 光源:CW,パルス >25kHz |
波長:190-950nm ビームサイズ:100μm – 6mm 光源:CW,パルス >25kHz |
波長:700-1800nm ビームサイズ:7μm – 2.3mm 光源:CW,パルス >25kHz |
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| 波長:700-1800nm ビームサイズ:20μm – 6mm 光源:CW,パルス >25kHz |
波長:700-1800nm ビームサイズ:100μm – 6mm 光源:CW,パルス >25kHz |
波長:190nm – 100μm ビームサイズ:20μm – 6mm 光源:CW,パルス >25kHz |
波長:190nm – 100μm ビームサイズ:100μm – 6mm 光源:CW, パルス >25kHz |
