■特徴・最高グレードのクリーンルームで製造 ■用途・ITOフィルム加工 |
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| パラメータ | 単位 | Pulse-532-5 | Pulse-532-10 | Super Pulse-532-15 | Super Pulse-532-20 | Super Pulse-532-30 |
| 波長 | nm | 532 |
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| 繰り返し周波数 | kHz | 10-150(Options:single shot to 200kHz) | ||||
| パルス幅 @30 kHz | ns | <18 | ||||
| 平均パワー @30 kHz | W | > 5 | > 10 | > 15 | > 20 | > 30 |
| 平均パワー安定性 | % | < ±3 over 24hours |
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| 出力ビーム | – | TEM00 (M2 <1.2) |
TEM00 (M2 <1.5) | |||
| ビーム広がり角 | mrad | < 2 |
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| 1/e2ビーム径 | mm | 0.7 |
1.0 | |||
| ビーム真円度 | % | > 90 |
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| ポインティング安定性 | µrad | < 50 |
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| 偏光方向 | – | 垂直 |
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| 偏光比 | – | 100 : 1 |
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| 動作電圧 | VAC | 90-260 | ||||
| 冷却方式 | – | 空冷 |
水冷 | |||
| メーカ | INNGU LASER |
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■加工例







