Ophir社のビームプラファイラにはカメラ式とスリット式があります。

カメラ式ビームプロファイラは、
カメラ本体、 ビームプロファイラのソフトウェア、減光用アクセサリで構成されています。 オフィール・スピリコンでは業界一の豊富なラインナップでカメラセンサをご用意しており、13nmの遠紫外から3000µmのEUVまで対応可能です。ほとんどの波長域でUSBおよびFireWireインターフェースが利用可能で、ノートパソコンまたはデスクトップでもご使用頂けます。

スリット式ビームプロファイラは、
フォトディテクタの前にある細いスリットがビームを通過するように回転します。スリットを通過しディテクタに当たった 光のエネルギーは電流に変換されます。スリットスキャナは、ほとんど減衰なしで測定できますので、加工用レーザの計測に最適です。波長が10.6μmのCO2レーザは広く加工に用いられますが、カメラによる計測は不可能です。したがって、スリットスキャナは1kWまでのCO2レーザの計測に非常に便利です。

 

外観 製品名/概要
 カメラ式ビームプロファイラ
ビームゲージソフトウエア対応ビームプロファイラカメラ

カメラにはビームゲージソフトウェアが付属しリアルタイムでレーザビームのプロファイルに対応します。高性能カメラに加え、数多くのISO規格に準拠した測定、業界一のアルゴリズムを誇るUltracal補正機能(特許取得済み)など優れた機能を兼ね揃えたビームゲージアプリケーションにより高精度の測定が可能です。

高解像度パイロエレクトリックカメラ :PyrocamⅢHR/PyrocamⅣ

Pyrocam/パイロカムシリーズはレーザビームプロファイル計測用のカメラで、波長帯域13nm-355nm、1.06-3000um、ブロードバンドアレイ、ワイドダイナミックレンジ、高速データキャプチャレート、CW及びパルスレーザ対応、NIRレーザ、CO2レーザ、THz光源対応。

ベーシック・ビームアナライザシステム:BeamMic™

BeamMicは、簡易性を追求した基本的なビームプロファイル計測を実現します。ビーム径、均一性、出力による影響など、ビームモードの精度がアプリケーションの精度に大きな影響を及ぼします。レーザビームをより正確に解析し、ビームのパラメータを正確に分析することは不可欠です。

高出力CO2レーザ用・簡易ビームモード計測システム:ModeCheck

ModeCheckは高出力CO2レーザ用・簡易ビームモード計測システム。最大測定出力5kWまでの工業用CO2レーザビームモード解析用可搬型ビームプロファイラ。従来の危険な確認方法(アクリル板にレーザを照射して蒸発させバーンパターンからビーム強度分布を目視で確認する方法)に代わり、ModeCheckにレーザを入射するだけでリアルタイムでビームモードを確認。

高出力ディスク&ファイバレーザ測定 非接触ビームプロファイラ:BeamWatch

BeamWatch非接触ビームモニタリングシステムは、kWクラスの高出力ディスク・ファイバレーザ(波長帯域980-1080nm)のビームプロファイル計測に対応。レイリー散乱の信号を計測。レーザ光は機構や光の特性に影響を与えることなく直接システム内部を通過し計測。数kWクラスの工業用高出力レーザビームプロファイル計測に最適。

ビームキューブ:BeamCube

BeamCubeは工業用高出力パルスNd : YAGレーザ、ダイオードレーザ、ファイバレーザ専用のレーザビーム計測装置です。減衰光学系、ビームプロファイラ、パワーメータを本体に内蔵しているので可搬性に優れ、1_台のみで重要なレーザビームのパラメータをコンピュータ画面上にて全てモニタすることを実現しました。

高出力CO2レーザ用ビームプロファイラ・キット:LPK-CO2

LPK-CO2 にはA/Rコート付き反射ウェッジ、CaF2 フィルタ、ビーム径を小さくするための テレスコープ、ギガビット・イーサーネット対応のパイロカムカメラ、BeamGageビームゲージソフトウェア・スタンダード版 が含まれます。キットは水平方向のビームや下方に向かうビームの計測が行えるように設計されており、生ビームの特性や安定性 が測定できます。

M2ビーム品質測定システム:BeamSquared

1分以下で自動ビーム品質測定を実現
レーザビーム品質を高品質に調整
ISO準拠のM2値が手軽に測定可能
簡易操作にて定期的な計測が容易に可能
比類ないUltracalTMベースライン補正機能

M²計測レーザビームプロファイラ:MS-1780 モードスキャン

MS-1780モードスキャンはCCDカメラ採用M2計測用レーザビームプロファイラ。ISO11146に準拠したパラメータで容易にレーザのビームプロファイルが可能。10ポイントビームを同時に計測可能な優れた設計(Photon社 特許取得済み)により、レーザの光軸をアライメントするだけで、瞬時に高精度なM2計測を実現。

 スリット式ビームプロファイラ
ナノスキャンシリーズ:NanoScanTM

NanoScanTMは、スリットスキャン式のレーザビームプロファイラです。NanoScanシステムはスリットスキャン式の優位性としてサブミクロンの測定精度、シリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックディテクタを採用しており広波長範囲に対応しています。ソフトウェアは数多くのISO規格に準拠した測定に対応、M2 Wizard機能搭載、レーザ出力測定も可能です。

ハイパワーナノスキャン:High Power NanoScan

5kWまでの集光CO2レーザビームの計測
パルス幅変調(PWM)レーザの計測に最適
Qスイッチレーザやその他の高繰返しパルスレーザの計測

スリットスキャンM²計測プロファイラ:NanoModeScan

NanoModeScanはM2測定用スリット式ビームプロファイルシステム。シリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックディテクタをご用意、波長帯域UV-FIRに対応。可搬性に優れたコンパクト設計、迅速な計測、ISO準拠の数多くの計測、CWまたはkHzまでのパルスレーザ、幅広い種類のレーザ計測に対応。

 アクセサリー
NDフィルタ

レーザビームプロファイラのオプションで減衰用NDフィルタ各種取り揃えています。

ビームスプリッタ

レーザビームプロファイラのオプションで減衰用ビームスプリッタを各種取り揃えています。

ND + ビームスプリッタの組み合わせ

レーザビームプロファイラのオプションでNDフィルタとビームスプリッタの組み合わせを各種取り揃えています。

ビームエキスパンダとマイクロスコープの組み合わせ

小口径ビームをイメージングする時に分解能となりますが、ビームエキスパンダとマイクロスコープでビームサイズを大きくしてより高精度なビームプロファイルが可能です。

ビームリデューサ

大口径ビームをイメージングする時にイメージャよりもビームが大きい場合、ビームリデューサでビームサイズを小さくしてより高精度なビームプロファイルが可能です。

フロントエンドイメージング及びスペーサ用レンズ

ビーム径が大きすぎて従来の直接入射やサンプリングの方法で測定できない場合、イメージャの正面後ろにイメージングレンズを固定してビームが投影される面まで集光点を調整します。

UVレーザ用イメージコンバータ

UV光をVIS光に変換用コンバータをご用意しています

NFP:ニアフィールドプロファイラ

NFP:ニアフィールドプロファイラはCCDプロファイラとスリット式スキャニングカメラ両方で使用可能で極小ビームをプロファイル可能。ディテクタアレイのピクセルサイズのために測定できない極小ビームを拡大します。

オプティカル カメラトリガ

オプティカル カメラトリガはトリガ機能オプションで、カメラ本体に設定して外部オプティカルトリガでパルスに同期します。 オプティカル カメラトリガシステムの構成はオプティカル カメラトリガ本体とオプションのC-マウントアダプタ